根元にあるのが真空装置の最終3段目のポンプ。まあ中はSEM写真のステージと同様なレベルで真空ですがこの容積で真空ってのも厳しいですね。先端に真空紫外分光器、可視分光器を装着。横に伸びる筒は米国の大学が設置したX線とかの検知器です。