根元にあるのが真空装置の最終3段目のポンプ。
まあ中はSEM写真のステージと同様なレベルで真空ですが
この容積で真空ってのも厳しいですね。
先端に真空紫外分光器、可視分光器を装着。
横に伸びる筒は米国の大学が設置したX線とかの検知器です。